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透明导电膜功能指标的相关分析

2020-05-06 点击数:268

        目前常见的透明导电膜包括ITO(Indium Tin Oxides锡掺杂三氧化铟)、GZO(Gallium Zinc Oxides镓掺杂氧化锌)、AZO(Aluminum Zinc Oxides铝掺杂氧化锌)等,这些氧化物只吸收紫外光,不吸收可见光,是“透明”的导电膜。

导电膜

        透明导电膜的功能指标主要有两个:透光度和导电性。
        以目前透明导电膜的主流材料——ITO导电膜为例,影响ITO薄膜导电功能的几个要素包含:ITO薄膜的面电阻(γ)、膜厚(d)和电阻率(ρ),这三者之间的相互关系是:γ=ρ/d,即为了取得不同面电阻的ITO薄膜,实际上就是要取得不同的膜厚和电阻率。
        从上述公式可以看到,ITO薄膜的导电性要好(即面电阻值要低),在电阻率必定的情况下(电阻率是制备工艺的要害,难度较大),膜厚要添加,这样会导致ITO薄膜的透光功能下降,反之亦然。
        所以,ITO薄膜电阻率的巨细是ITO薄膜制备工艺的要害,要取得好的透光度和导电性,就需要尽量小的电阻率(ρ)。
        影响电阻率(ρ)大小的要素主要包含载流子浓度、载流子迁移率等,载流子浓度或载流子迁移率越大,薄膜的电阻率就越小。
        在操控条件上,载流子浓度可以通过调理ITO堆积资料的锡含量和氧含量来完成,而载流子迁移率则与ITO薄膜的结晶状态、晶体结构等相关,可以通过调理薄膜堆积时的堆积温度、溅射电压和成膜条件等来完成。
        以上就是小编对于透明导电膜透光度和导电性功能指标的分析,希望对大家有所帮助。
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